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고속 세틀링과 고정밀 위치제어를 위한 모드변경 제어기법 김정재; 김기현; 최영만; 홍동표; 권대갑, 반도체및디스플레이장비학회지, v.5, no.4, pp.1 - 4, 2006-12 |
고속 초정밀 장행정용 이중 서보 시스템의 고속 세틀링을 위한 모드 변경 제어 기법 김정재; 최영만; 김기현; 권대갑; 홍동표, 한국반도체및디스플레이장비학회 2006년도 추계학술대회 발표, pp.145 - 149, 한국반도체및디스플레이장비학회, 2006 |
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