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박막의 실시간 타원계측을 위한 초점형 환상(環狀) 측정 방법에 대한 연구 = Peripheral measurement method for real-time ellipsometric data acquisition of thin filmslink 예상헌; Ye, Sang-Heon; et al, 한국과학기술원, 2008 |
타원편광분석기의 입사각 정렬에 관한 연구 = Incidence angle alignment method for ellipsometerlink 예상헌; Ye, Sang-Heon; et al, 한국과학기술원, 2002 |
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