블리스터 방법을 이용한 전자빔 증착 알루미늄 박막의 영계수와 잔류응력 측정

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dc.contributor.author박상선-
dc.contributor.author문호정-
dc.contributor.author엄윤용-
dc.contributor.author조영호-
dc.date.accessioned2013-03-15T23:02:19Z-
dc.date.available2013-03-15T23:02:19Z-
dc.date.created2012-02-06-
dc.date.issued1995-11-02-
dc.identifier.citation대한기계학회 추계학술대회, v., no., pp.47 - 52-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/124868-
dc.languageKOR-
dc.title블리스터 방법을 이용한 전자빔 증착 알루미늄 박막의 영계수와 잔류응력 측정-
dc.typeConference-
dc.type.rimsCONF-
dc.citation.beginningpage47-
dc.citation.endingpage52-
dc.citation.publicationname대한기계학회 추계학술대회-
dc.identifier.conferencecountrySouth Korea-
dc.identifier.conferencecountrySouth Korea-
dc.contributor.localauthor조영호-
dc.contributor.nonIdAuthor박상선-
dc.contributor.nonIdAuthor문호정-
dc.contributor.nonIdAuthor엄윤용-
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BiS-Conference Papers(학술회의논문)
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