DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 윤석민 | - |
dc.contributor.author | 서상훈 | - |
dc.contributor.author | 김정형 | - |
dc.contributor.author | 장홍영 | - |
dc.date.accessioned | 2013-03-15T22:13:48Z | - |
dc.date.available | 2013-03-15T22:13:48Z | - |
dc.date.created | 2012-02-06 | - |
dc.date.issued | 1996-03 | - |
dc.identifier.citation | 한국진공학회 제10회 학술발표회, v., no., pp. - | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/124448 | - |
dc.description.abstract | 7MH의 RF 주파수를 이용하여, 1 mTorr의 Ar 가스에서 발생시킨 헬리콘 플라즈마의 전기적 특성에 대하여 연구하였다. 자기장과 입력 전력을 바꾸어 가며 안테나의 전압과 전류 및 이 두 변수들간의 위상 차이를 측정하였으며, 동시에 전자 밀도를 측정하여 비교하였다. 이러한 값들로부터 플라즈마와 결합된 안테나의 저항(equivalent resistance), 리액턴스( equivalent reactance) 및 전력 효율을 계산하였다. 고밀도의 플라즈마를 형성하는 헬리콘 모드와 capacitive electric field에 의해서 낮은 밀도의 플라즈마를 형성시키는 low-mode가 존재함을 확인하였다. 헬리콘 모드의 경우 안테나의 전압과 전류 값이 low-mode에 비해 낮았다. 전압과 전류의 위상 차이가 low-mode에서 헬리콘 모드로 변할 때 갑자기 감소하였다. 이 때 플라즈마와 결합된 안테나의 저항과 전력 효율은 증가하였으며 리액턴스는 감소하였다. 이것은 low-mode에서 헬리콘 모드로 변할 때 안테나와 플라즈마와의 결합은 좋아지고 플라즈마로 입력되는 전력은 증가함을 의미한다. | - |
dc.language | KOR | - |
dc.publisher | 한국진공학회 | - |
dc.title | 헬리콘 플라즈마의 전기적 특성 | - |
dc.title.alternative | Electrical Characteristics of Helicon Wave plasmas | - |
dc.type | Conference | - |
dc.type.rims | CONF | - |
dc.citation.publicationname | 한국진공학회 제10회 학술발표회 | - |
dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
dc.contributor.localauthor | 장홍영 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 윤석민 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 서상훈 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 김정형 | - |
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