ECR N2O-플라즈마 산학막을 게이트 절연막으로 하는 짧은 채널 길이를 갖는 N 및 P 채널 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 신뢰성
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 한철희 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-15T20:17:25Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-15T20:17:25Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1998 | - |
| dc.identifier.citation | 한국정보디스플레이 학술대회, v., no., pp.71 - 72 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/123468 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.title | ECR N2O-플라즈마 산학막을 게이트 절연막으로 하는 짧은 채널 길이를 갖는 N 및 P 채널 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 신뢰성 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 71 | - |
| dc.citation.endingpage | 72 | - |
| dc.citation.publicationname | 한국정보디스플레이 학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 한철희 | - |
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- RIMS Conference Papers
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