마이크로 게이지법을 이용한 poly-Si 박막의 열팽창 계수 측정
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 강상원 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-15T20:08:46Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-15T20:08:46Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1997 | - |
| dc.identifier.citation | '97 정보통신의 날 기념 정책전략포럼 및 학술발표회, v., no., pp.523 - 536 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/123401 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.title | 마이크로 게이지법을 이용한 poly-Si 박막의 열팽창 계수 측정 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 523 | - |
| dc.citation.endingpage | 536 | - |
| dc.citation.publicationname | '97 정보통신의 날 기념 정책전략포럼 및 학술발표회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 강상원 | - |
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