고밀도 Helicon Plasma를 이용한 저유전율의 SiOF박막 증착 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김정형 | - |
| dc.contributor.author | 서상훈 | - |
| dc.contributor.author | 윤석민 | - |
| dc.contributor.author | 장홍영 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-15T18:32:21Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-15T18:32:21Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1995 | - |
| dc.identifier.citation | 한국진공학회 제9회 학술발표회, v., no., pp. - | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/122466 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.publisher | 한국진공학회 | - |
| dc.title | 고밀도 Helicon Plasma를 이용한 저유전율의 SiOF박막 증착 연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 한국진공학회 제9회 학술발표회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 장홍영 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김정형 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 서상훈 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 윤석민 | - |
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