Cycle-CVD법으로 증착된 TiN 박막의 ALD 증착기구와 특성에 관한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 강상원 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-15T16:46:50Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-15T16:46:50Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1998 | - |
| dc.identifier.citation | 제5회 한국반도체학술대회 논문집, v., no., pp.329 - 330 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/121476 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.title | Cycle-CVD법으로 증착된 TiN 박막의 ALD 증착기구와 특성에 관한 연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 329 | - |
| dc.citation.endingpage | 330 | - |
| dc.citation.publicationname | 제5회 한국반도체학술대회 논문집 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 강상원 | - |
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