폴리머 기판 위에 만들어진 비정질 TaOx 박막 커패시터의 저온 열처리에 의한 누설전류 감소에 관한 연구

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Publisher
한국재료학회
Issue Date
1998-11-01
Language
KOR
Citation

한국재료학회 추계학술대회, pp.70 - 70

URI
http://hdl.handle.net/10203/121447
Appears in Collection
MS-Conference Papers(학술회의논문)
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