고감도 광섬유센서를 이용한 원자층 분해능의 실시간 박막스트레스 측정

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dc.contributor.author김영석-
dc.contributor.author신성철-
dc.date.accessioned2013-03-15T16:17:59Z-
dc.date.available2013-03-15T16:17:59Z-
dc.date.created2012-02-06-
dc.date.issued1997-
dc.identifier.citation한국자기학회 학술발표회, v., no., pp.Da-12 --
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/121188-
dc.languageKOR-
dc.publisher한국자기학회-
dc.title고감도 광섬유센서를 이용한 원자층 분해능의 실시간 박막스트레스 측정-
dc.typeConference-
dc.type.rimsCONF-
dc.citation.beginningpageDa-12-
dc.citation.publicationname한국자기학회 학술발표회-
dc.identifier.conferencecountrySouth Korea-
dc.identifier.conferencecountrySouth Korea-
dc.contributor.localauthor신성철-
dc.contributor.nonIdAuthor김영석-
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PH-Conference Papers(학술회의논문)
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