SOI소자 제죠를 위한 ZMR공정의 모델링Modelling of ZMR process for fabrication of SOI
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 왕종회 | - |
| dc.contributor.author | 김도현 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-15T13:02:37Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-15T13:02:37Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1995-04 | - |
| dc.identifier.citation | , v., no., pp.852 - 855 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/119688 | - |
| dc.description.abstract | SOI구조를 얻기 위한 방법의 한가지인 ZMR공정에 있어서 열전달은 계면의 위치와 모양을 결정하는 중요한 역할을 한다. 본 연구에서는 SOI구조를 얻기 위한 ZMR공정중의 열전달 공정을 모사할 수 있는 의사정상상태 2차원 ZMR모델을 수립하였다. 본 모델은 복사, 전도 그리고 대류 열전달을 포함하며, 고/액 계면의 위치를 결정한다. 모델로부터 구한 수치해는 실리콘 기판의 용융부에서의 유동장, 전체 SOR구조에서의 온도장 그리고 실리콘 박막과 기판에서의 고/액 계면의 위치를 포함한다. 여러 공정 변수들의 변화에 따른 온도장과 계면의 형상과 폭의 변화를 알아보았다. | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.title | SOI소자 제죠를 위한 ZMR공정의 모델링 | - |
| dc.title.alternative | Modelling of ZMR process for fabrication of SOI | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 852 | - |
| dc.citation.endingpage | 855 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 김도현 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 왕종회 | - |
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- CBE-Conference Papers(학술회의논문)
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