산발생 기능의 10-Camphorsulfonyloxymaleimide [CmpSOMI]를 이용한 삼원 공중합체의 합성과 단일성분계 레지스트 응용

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Publisher
한국고분자학회
Issue Date
1997-04-11
Language
KOR
Citation

한국고분자학회 1997년도춘계 학술대회 , pp.107 - 108

URI
http://hdl.handle.net/10203/119607
Appears in Collection
CH-Conference Papers(학술회의논문)
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