Pt/Ti/SiO2/Si 기판의 증착조건 및 열처리 조건이 PZT 박막의 결정구조 및 전기적 특성에 미치는 영향에 관한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이원종 | - |
| dc.contributor.author | 남효진 | - |
| dc.contributor.author | 김현호 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-15T12:36:52Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-15T12:36:52Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1997-01-01 | - |
| dc.identifier.citation | 제5회 한국반도체 학술대회, v., no., pp.0 - 0 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/119521 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.title | Pt/Ti/SiO2/Si 기판의 증착조건 및 열처리 조건이 PZT 박막의 결정구조 및 전기적 특성에 미치는 영향에 관한 연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 0 | - |
| dc.citation.endingpage | 0 | - |
| dc.citation.publicationname | 제5회 한국반도체 학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 이원종 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 남효진 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김현호 | - |
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