Pt/Ti/SiO2/Si 기판의 증착조건 및 열처리 조건이 PZT 박막의 결정구조 및 전기적 특성에 미치는 영향에 관한 연구

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dc.contributor.author이원종-
dc.contributor.author남효진-
dc.contributor.author김현호-
dc.date.accessioned2013-03-15T12:36:52Z-
dc.date.available2013-03-15T12:36:52Z-
dc.date.created2012-02-06-
dc.date.issued1997-01-01-
dc.identifier.citation제5회 한국반도체 학술대회, v., no., pp.0 - 0-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/119521-
dc.languageKOR-
dc.titlePt/Ti/SiO2/Si 기판의 증착조건 및 열처리 조건이 PZT 박막의 결정구조 및 전기적 특성에 미치는 영향에 관한 연구-
dc.typeConference-
dc.type.rimsCONF-
dc.citation.beginningpage0-
dc.citation.endingpage0-
dc.citation.publicationname제5회 한국반도체 학술대회-
dc.identifier.conferencecountrySouth Korea-
dc.identifier.conferencecountrySouth Korea-
dc.contributor.localauthor이원종-
dc.contributor.nonIdAuthor남효진-
dc.contributor.nonIdAuthor김현호-
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MS-Conference Papers(학술회의논문)
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