자기력을 이용한 비접촉 6자유도 미소위치결정 기구의 개발-설계, 모델링 및 제어

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Issue Date
1996-05-01
Language
KOR
Citation

대한기계학회, pp.1164 - 1176

URI
http://hdl.handle.net/10203/119488
Appears in Collection
ME-Conference Papers(학술회의논문)
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