반도체 식각 시스템의 진화 프로그래밍을 이용한 다변수 PI 제어

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dc.contributor.authorKim, Jong-Hwan-
dc.date.accessioned2013-03-15T11:04:55Z-
dc.date.available2013-03-15T11:04:55Z-
dc.date.created2012-02-06-
dc.date.issued1995-03-01-
dc.identifier.citation, v., no., pp.215 - 220-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/118866-
dc.languageKOR-
dc.title반도체 식각 시스템의 진화 프로그래밍을 이용한 다변수 PI 제어-
dc.typeConference-
dc.type.rimsCONF-
dc.citation.beginningpage215-
dc.citation.endingpage220-
dc.identifier.conferencecountrySouth Korea-
dc.identifier.conferencecountrySouth Korea-
dc.contributor.localauthorKim, Jong-Hwan-
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EE-Conference Papers(학술회의논문)
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