DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | 노광수 | - |
dc.contributor.author | 배병수 | - |
dc.contributor.author | 전병혁 | - |
dc.contributor.author | 한상수 | - |
dc.contributor.author | 이준성 | - |
dc.contributor.author | 김용범 | - |
dc.contributor.author | 강호영 | - |
dc.contributor.author | 고영범 | - |
dc.date.accessioned | 2013-03-15T05:25:59Z | - |
dc.date.available | 2013-03-15T05:25:59Z | - |
dc.date.created | 2012-02-06 | - |
dc.date.issued | 1997 | - |
dc.identifier.citation | 제 4회 한국 반도체 학술대회, v., no., pp. - | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/116673 | - |
dc.language | KOR | - |
dc.publisher | 한국 반도체 학술대회 | - |
dc.title | Antireflective coating of flourinated silicon nitride for KrF excimer laser lithography | - |
dc.type | Conference | - |
dc.type.rims | CONF | - |
dc.citation.publicationname | 제 4회 한국 반도체 학술대회 | - |
dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
dc.contributor.localauthor | 노광수 | - |
dc.contributor.localauthor | 배병수 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 전병혁 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 한상수 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 이준성 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 김용범 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 강호영 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 고영범 | - |
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