ECR PECVD 법으로 제조한 TiN박막의 비저항, 피복성 및 확산장벽특성에 관한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이원종 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-15T01:32:28Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-15T01:32:28Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1996-01-01 | - |
| dc.identifier.citation | 한국재료학회 1996 추계학술연구발표회, v., no., pp.0 - 0 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/115468 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.title | ECR PECVD 법으로 제조한 TiN박막의 비저항, 피복성 및 확산장벽특성에 관한 연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 0 | - |
| dc.citation.endingpage | 0 | - |
| dc.citation.publicationname | 한국재료학회 1996 추계학술연구발표회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 이원종 | - |
- Appears in Collection
- MS-Conference Papers(학술회의논문)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.