RTA 시스템에서의 wafer의 온도 simulation과 제어방법

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dc.contributor.author김충기-
dc.date.accessioned2013-03-14T22:10:14Z-
dc.date.available2013-03-14T22:10:14Z-
dc.date.created2012-02-06-
dc.date.issued1987-
dc.identifier.citation대한전자공학회 전기재료, 반도체 및 CAD 학술대회 논문집, v., no., pp. --
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/113868-
dc.languageKOR-
dc.titleRTA 시스템에서의 wafer의 온도 simulation과 제어방법-
dc.typeConference-
dc.type.rimsCONF-
dc.citation.publicationname대한전자공학회 전기재료, 반도체 및 CAD 학술대회 논문집-
dc.identifier.conferencecountrySouth Korea-
dc.contributor.localauthor김충기-
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EE-Conference Papers(학술회의논문)
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