RTA 시스템에서의 wafer의 온도 simulation과 제어방법
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김충기 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-14T22:10:14Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-14T22:10:14Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1987 | - |
| dc.identifier.citation | 대한전자공학회 전기재료, 반도체 및 CAD 학술대회 논문집, v., no., pp. - | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/113868 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.title | RTA 시스템에서의 wafer의 온도 simulation과 제어방법 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 대한전자공학회 전기재료, 반도체 및 CAD 학술대회 논문집 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 김충기 | - |
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- EE-Conference Papers(학술회의논문)
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