열처리가 다결정 규소 미세 구조체의 내부 응력에 미치는 효과

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dc.contributor.author강상원-
dc.date.accessioned2013-03-14T21:20:58Z-
dc.date.available2013-03-14T21:20:58Z-
dc.date.created2012-02-06-
dc.date.issued1993-
dc.identifier.citation한국센서학회 센서기술 학술대회 논문집 제4권 제1호, v., no., pp.263 - 266-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/113437-
dc.languageKOR-
dc.title열처리가 다결정 규소 미세 구조체의 내부 응력에 미치는 효과-
dc.typeConference-
dc.type.rimsCONF-
dc.citation.beginningpage263-
dc.citation.endingpage266-
dc.citation.publicationname한국센서학회 센서기술 학술대회 논문집 제4권 제1호-
dc.identifier.conferencecountrySouth Korea-
dc.contributor.localauthor강상원-
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MS-Conference Papers(학술회의논문)
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