열처리가 다결정 규소 미세 구조체의 내부 응력에 미치는 효과

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Issue Date
1993
Language
KOR
Citation

한국센서학회 센서기술 학술대회 논문집 제4권 제1호, pp.263 - 266

URI
http://hdl.handle.net/10203/113437
Appears in Collection
MS-Conference Papers(학술회의논문)
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