압전전압 궤환에 의한 압전구동 미소 이송장치의 위치정도 개선에 관한 연구

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Issue Date
1994
Language
KOR
Citation

한국정밀공학회 춘계학술대회 논문집, pp.72 - 76

URI
http://hdl.handle.net/10203/110975
Appears in Collection
ME-Conference Papers(학술회의논문)
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