RF 스퍼터링으로 제조된 a-SiC:H 박막의 결합구조와 광학적 성질에 미치는 증착변수의 영향

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Publisher
한국표면공학회
Issue Date
1992
Language
KOR
Citation

한국표면공학회 춘계 학술 발표회

URI
http://hdl.handle.net/10203/110222
Appears in Collection
MS-Conference Papers(학술회의논문)
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