Showing results 1 to 3 of 3
On the characteristics of multiple inductively coupled plasma sources using two coils = 2개의 코일을 이용한 다중 유도 결합 플라즈마 발생 장치의 특성에 관한 연구link Lee, Jin-won; 이진원; et al, 한국과학기술원, 2016 |
플라즈마 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 이진원, 2013-03-15 |
플라즈마 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 이진원, 2017-05-08 |
Discover