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Al/ZnO/Al/Si$O_2$/Si-Membrane 구조 압전 박막 공진기의 제작과 특성 연구 최병운; 한봉명; 현석봉; 박희대; 김수용, 응용물리, v.9, no.0, pp.0 - 392, 1996-01 |
Corning 7059 기판상에서 ZnO 박막 우선방위 성장에 미치는 고주파인가 전력의 효과 박희대; 김경식; 한봉명; 김종환; 김수용, 기초과학연구논문집, v.6, no.0, pp.111 - 114, 1995-11 |
Corning 7059 기판상에서 ZnO박막 우선방위성장에 미치는 고주파 인가전력의 효과 박희대; 김경식; 한봉명; 김종환; Kim, Soo-Yong, 응용물리학회지, v.8, no.6, pp.597 - 600, 1995-11 |
RF Planar Magnetron Sputtering을 이용한 탄성파 소자용 ZnO 압전 박막 제작 김종완; 한봉명; 박희태; 김경식; 김수용, 새물리, v.8, no.2, pp.177 - 181, 1995-03 |
RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 ZnO/SiO2/Si(100) 박막의 증착 및 특성에 관한 연구 김종완; 한봉명; 박희대; 김경식; 김수용, 새물리, v.8, no.6, pp.601 - 605, 1995-01 |
ZnO/CORNING 7059 Glass 박막의 열처리 효과에 따른 전기적 특성 박희대; 김경식; 한봉명; 김종완; Kim, Soo-Yong, 응용물리학회지, v.8, no.6, pp.606 - 609, 1995-11 |
고주파 평면 마그네트론 스퍼터링 법으로 제작한 ZnO 박막의 원자 충돌로 인한 결정성 변화 한봉명; 조재흥; 장수; 최재형; 이정용; 김수용, 응용물리, v.9, no.0, pp.0 - 33, 1996-01 |
광화학 기상성장법에 의한 Si 기관상에서의 TaOx 박막제작에 관한 연구 한봉명; 김수용; 김경식, 한국표면공학회지, v.25, pp.126 - 132, 1992-01 |
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