Showing results 1 to 2 of 2
On ion energy control of dual frequency capacitive coupled plasma for high aspect ratio process = 고 종횡비 공정을 위한 이중 주파수 축전 결합 플라즈마의 이온 에너지 제어 연구link Park, Gi-Jung; 박기정; et al, 한국과학기술원, 2016 |
Simulation for solving uniformity problem of large area CCP = 대면적 축전 결합 플라즈마의 균일도 문제를 해결하기 위한 모의 실험link Park, Gi-Jung; 박기정; et al, 한국과학기술원, 2011 |
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