위상 광간섭에 의한 표면형상의 초정밀 측정에 관한 여구

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Publisher
대한기계학회
Issue Date
1992
Language
KOR
Citation

대한기계학회 1992년 춘추학술대회 , v.1, no.1, pp.665 - 668

URI
http://hdl.handle.net/10203/106329
Appears in Collection
ME-Conference Papers(학술회의논문)
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