산소 플라즈마를 이용한 Photoresist의 제거
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김정호 | - |
| dc.contributor.author | 황기웅 | - |
| dc.contributor.author | 김원규 | - |
| dc.contributor.author | 노영수 | - |
| dc.contributor.author | 이종덕 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-14T06:25:44Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-14T06:25:44Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1987-05 | - |
| dc.identifier.citation | 1987년도 춘계 반도체 학술 발표회, v., no., pp.98 - 100 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/106122 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.title | 산소 플라즈마를 이용한 Photoresist의 제거 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 98 | - |
| dc.citation.endingpage | 100 | - |
| dc.citation.publicationname | 1987년도 춘계 반도체 학술 발표회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 김정호 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 황기웅 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김원규 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 노영수 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이종덕 | - |
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