산소와 질소분위기에서 열처리된 ECR- PECVD 탄탈륨 산화막의 전기적 성질 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이원종 | ko |
| dc.contributor.author | 김일 | ko |
| dc.contributor.author | 김종석 | ko |
| dc.contributor.author | 안성덕 | ko |
| dc.contributor.author | 천성순 | ko |
| dc.date.accessioned | 2013-03-14T06:23:21Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-14T06:23:21Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1994-05 | - |
| dc.identifier.citation | 한국재료학회 춘계학술연구발표회, pp.0 - 0 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/106103 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 한국재료학회 | - |
| dc.title | 산소와 질소분위기에서 열처리된 ECR- PECVD 탄탈륨 산화막의 전기적 성질 연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 0 | - |
| dc.citation.endingpage | 0 | - |
| dc.citation.publicationname | 한국재료학회 춘계학술연구발표회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | KO | - |
| dc.identifier.conferencelocation | 부산대 | - |
| dc.contributor.localauthor | 이원종 | - |
| dc.contributor.localauthor | 천성순 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김일 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김종석 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 안성덕 | - |
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