열영동력이 반도체 웨이퍼상의 입자침착에 끼치는 영향
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 배귀남 | - |
| dc.contributor.author | 박승오 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-14T06:21:04Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-14T06:21:04Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1993 | - |
| dc.identifier.citation | 대한기계학회 춘계 학술대회, v., no., pp.70 - 75 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/106085 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.publisher | 대한기계학회 | - |
| dc.title | 열영동력이 반도체 웨이퍼상의 입자침착에 끼치는 영향 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 70 | - |
| dc.citation.endingpage | 75 | - |
| dc.citation.publicationname | 대한기계학회 춘계 학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 박승오 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 배귀남 | - |
- Appears in Collection
- AE-Conference Papers(학술회의논문)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.