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사각고리형상의 AuSn 합금박막을 이용한 MEMS 밀봉 패키징 및 특성 시험

김성아; 김근호; 부종욱; 서영호; 조영호, 대한기계학회논문집 A, v.28, no.4, pp.435 - 442, 2004-04

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