Browse by Subject Laser Interferometer(레이저 간섭계)
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| 직교 스캐너와 레이저 간섭계를 사용한 교정용 원자현미경 이동연; 김동민; 권대갑, 대한기계학회논문집 A, v.30, no.12, pp.1611 - 1617, 2006-12 |
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