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금속산화물의 광열화학반응을 이용한 박막트랜지스터 가공 리페어 공정에 관한 연구 = A study on TFT manufacturing repair process using a photo-thermo-chemical reaction of metal oxideslink

이후승; Lee, Hu Seung; et al, 한국과학기술원, 2015

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