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Browse by Subject 리소그래피 모델▼a테스트 패턴▼aIPS▼a가우시안 커널▼a클러스터링

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Test pattern clustering for fast and accurate lithography modeling = 빠르고 정확한 리소그래피 모델링을 위한 테스트 패턴 클러스터링link

Cho, Gangmin; Shin, Youngsoo; et al, 한국과학기술원, 2021

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