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램프 가열 방식을 이용한 LPCVD 시스템의 설계 및 제작과 폴리 실리콘 증착 = Design and implementation of lamp-heated LPCVD system and poly-Si depositionlink 하용민; Ha, Yong-Min; et al, 한국과학기술원, 1990 |
램프 가열 방식의 LPCVD 장비의 설계 및 제작 김충기; 하용민; 김태성, 대한전기학회 추계학술대회, 1991 |
상위게이트 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 수소화 기구 한철희; 하용민; 김충기, 대한전자공학회 학술대회, 1994 |
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