알루미늄 박판의 다단 전해식각 공정을 이용한 3 차원 마이크로 구조물의 제작 Three-Dimensional Microstructures Fabricated by Multi-Step Electrochemical Aluminum-Foil Etching

Cited 0 time in webofscience Cited 0 time in scopus
  • Hit : 321
  • Download : 0
본 논문에서는 알루미늄 박판의 다단 전해식각을 공정을 이용한 3 차원 마이크로 구조물 제작방법을 제안한다. 본 공정은 기존 전해가공 공정들에 비해 3 차원 구조물의 대량생산이 용이하며, 기존 3 차원 마이크로 금속 구조물의 제작을 위한 다단 도금방법에 비해 간단하고, 경제적일 뿐만 아니라, 성형된 금속 박판을 이용하므로 구조물의 물성이 안정적이다. 본 논문에서는 단일 전해식각 공정을 통한 2 차원 외팔보 열과 다단 전해식각 공정을 통한 3 차원 마이크로 구조물의 제작을 수행하였다. 단일 전해식각 공정에서 평균 수직방향 식각률 1.50±0.10 ㎛/min 와 평균 수평방향 식각률 0.77±0.03 ㎛/min 을 얻었으며, 이를 이용한 3 차원 마이크로 구조물을 제작한 결과, 수직방향으로 15.5±5.8 %, 수평방향으로 3.3±0.9 % 의 제작오차와 37.4±9.6 nm 의 표면조도를 보였다.
Publisher
대한기계학회
Issue Date
2010-12
Language
Korean
Citation

대한기계학회논문집 A, v.34, no.12, pp.1805 - 1810

ISSN
1226-4873
URI
http://hdl.handle.net/10203/94866
Appears in Collection
BiS-Journal Papers(저널논문)
Files in This Item
There are no files associated with this item.

qr_code

  • mendeley

    citeulike


rss_1.0 rss_2.0 atom_1.0