KAIST의 MAV용 MEMS 엔진 개발 현황 Prgress in MEMS Engine Development for MAV Applications

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마이크로 연소실을 장착한 MAV 추진장치용 단기통 MEMS 엔진을 제작하였다. 본연구에서는 MEMS 크기의 왕복운동 내연기관의 타당성을 검증하고 실용화를 위한 설계 및 가공 데이터를 축적하고자 하였다. 엔진 블록은 가공의 정밀도와 내열성등을 고려하여 감광유리 웨이퍼를 사용하였으며, 점화 전극은 베이스 플레이트 위에 니켈 도금으로 제작하였다. 감광유리판은 등방성 에칭의 특성이 탁월하여 마이크로 엔진의 실린더와 피스톤과 같이 비교적 깊은 식각이 가능함을 확인하였다. 전체 엔진은 세 개의 별도 가공된 레이어를 접착하여 조립한다. 본연구의 엔진 연소실은 깊이는 1mm, 폭 2mm이며, 피스턴은 수소-공기 예혼합 가스의 연소압력에 의하여 구동된다. 가공된 엔진의 연소실험을 통하여, 점화, 화염전파 및 피스턴 구동을 확인하였으며, 실용화를 위한 연구가 요구되고 있다.
Publisher
한국항공우주학회
Issue Date
2002-09
Language
Korean
Citation

한국항공우주학회지, v.30, no.6, pp.1 - 6

ISSN
1225-1348
URI
http://hdl.handle.net/10203/83894
Appears in Collection
RIMS Journal PapersAE-Journal Papers(저널논문)
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