DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | 김태현 | ko |
dc.contributor.author | 태흥식 | ko |
dc.contributor.author | 이용현 | ko |
dc.contributor.author | 이호준 | ko |
dc.contributor.author | 이정해 | ko |
dc.contributor.author | 최경철 | ko |
dc.date.accessioned | 2013-03-03T09:45:48Z | - |
dc.date.available | 2013-03-03T09:45:48Z | - |
dc.date.created | 2012-02-06 | - |
dc.date.created | 2012-02-06 | - |
dc.date.issued | 1999-05 | - |
dc.identifier.citation | 한국진공학회지, v.8, no.2, pp.172 - 179 | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/78251 | - |
dc.language | Korean | - |
dc.publisher | 한국진공학회 | - |
dc.title | 헬리칼 공명 플라즈마에서 축방향의 외부자장이 기판상의 플라즈마 밀도에 미치는 영향 | - |
dc.title.alternative | Effects of axial external magnetic fields on plasma density on substrate in helical resonator plasma source | - |
dc.type | Article | - |
dc.type.rims | ART | - |
dc.citation.volume | 8 | - |
dc.citation.issue | 2 | - |
dc.citation.beginningpage | 172 | - |
dc.citation.endingpage | 179 | - |
dc.citation.publicationname | 한국진공학회지 | - |
dc.contributor.localauthor | 최경철 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 김태현 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 태흥식 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 이용현 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 이호준 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 이정해 | - |
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