DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 이승현 | ko |
dc.contributor.author | 권순용 | ko |
dc.contributor.author | 최한메 | ko |
dc.contributor.author | 최시경 | ko |
dc.date.accessioned | 2013-02-27T13:59:38Z | - |
dc.date.available | 2013-02-27T13:59:38Z | - |
dc.date.created | 2012-02-06 | - |
dc.date.created | 2012-02-06 | - |
dc.date.issued | 1996 | - |
dc.identifier.citation | 한국세라믹학회지, v.33, no.7, pp.802 - 808 | - |
dc.identifier.issn | 1229-7801 | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/68964 | - |
dc.description.abstract | D.C. magnetron reactive sputtering법을 이용하여 MgO(100) 단결정 기판에 c-축으로 배향된 PbTiO₃ 박막을 제조하였다. 이들 박막을 열처리 온도와 시간을 변화시켜 열처리한 결과, c-축 배향도 및 격자상수의 감소를 관찰하였다. C-축 격자상수의 변화는 막중의 Pb/(Pb+Ti)비 및 잔류응력의 변화에 기인하여 일어날 수가 있다. Pb/(Pb+Ti)비를 0.45에서 0.57까지 변화시킨 PbTiO₃ 박막을 제조하여 열처리한 결과, 열처리 전후에 Pb 함량에 따른 박막의 구조 변화, c-축 배향도 및 격자상수의 변화는 관찰할 수 없었다. 그러므로, 열처리에 따른 c-축 격자상수의 변화는 박막 중의 고유응력의 변화에 기인된 것이 확인되었다. 이 고유능력의 완화에 의해서 c-축 배향도가 감소되는 것을 c-축 성장 격자 모델을 이용하여 설명할 수가 있었다. | - |
dc.language | Korean | - |
dc.publisher | 한국세라믹학회 | - |
dc.title | D.C.Magnetron Reactive Sputtering법으로 증착한 PbTiO₃ 박막의 열처리에 따른 c-축 배향성의 변화 | - |
dc.title.alternative | Effect of Annealing on c-axis Orientation of PbTiO₃ Thin Films by D.C. Magnetron Reactive Sputtering | - |
dc.type | Article | - |
dc.type.rims | ART | - |
dc.citation.volume | 33 | - |
dc.citation.issue | 7 | - |
dc.citation.beginningpage | 802 | - |
dc.citation.endingpage | 808 | - |
dc.citation.publicationname | 한국세라믹학회지 | - |
dc.contributor.localauthor | 최시경 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 이승현 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 권순용 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 최한메 | - |
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