강유전체 박막의 화학적 제조

강유전체 특히 PLZT계 박막의 화학적 증착법인 졸겔법과 기상화학증착법에 의한 증착연구에 대한 문헌을 토대로 졸겔법과 기상화학증착법의 원리 및 특징들을 살펴보고 현재 본 연구원의 연구결과를 간단히 소개하고자 한다.
Publisher
한국요업재료학회
Issue Date
1994-12
Language
KOR
Citation

한국요업재료의 과학과기술, v.9, no.6, pp.579 - 592

ISSN
1226-976X
URI
http://hdl.handle.net/10203/59937
Appears in Collection
MS-Journal Papers(저널논문)
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