텅스텐 실리사이드 산화시 발생하는 이상산화 현상억제에 미치는 이온 주입효과 Effect of Ion Implantation on the Suppression of Abnormal Oxide Grown over WSi2

Publisher
한국진공학회
Issue Date
1994-12
Language
KOR
Citation

한국진공학회지, v.3, no.3, pp.322 - 330

ISSN
1225-8822
URI
http://hdl.handle.net/10203/57661
Appears in Collection
MS-Journal Papers(저널논문)
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