About KOASAS KAIST Library
학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 신소재공학과, 1996.2, [ x, 76 p. ]
반응성 이온 식각; 시간 변조; Damage; RF Power; Time modulation; Continuous wave; RIE etching; 연속파; 라디오파 전력; 결함
Display Full Item Record
트윗하기
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
rss_1.0 rss_2.0 atom_1.0