기상합성 다이아몬드의 핵생성 및 성장에 미치는 바이어스 인가 효과Effects of electrical bias on nucleation and growth of CVD diamond
- Advisors
- 윤덕용; Yoon, Duk-Yong
- Description
- 한국과학기술원 : 재료공학과,
- Publisher
- 한국과학기술원
- Issue Date
- 1999
- Identifier
- 155989/325007 / 000955190
- Language
- kor
- Description
학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 재료공학과, 1999.2, [ vi, 150 p. ]
- Keywords
직류 방전; 네거티브 글로우; 바이어스; CVD 다이아몬드; 식각; Etching; DC discharge; Negative glow; Bias; CVD diamond
- Appears in Collection
- MS-Theses_Ph.D.(박사논문)
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