학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 신소재공학과, 2006.2, [ xii, 162 p. ]
metallorganic chemical vapor deposition; reactive sputtering; CoNx; epitaxial silicide; 반응성 스퍼터링; 금속유기화학기상증착법; 코발트 나이트라이드; 에피택셜 실리사이드; 코발트 실리사이드
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