대면적 평면 마그네트론 스퍼터링 시스템의 플라즈마 발생 및 박막증착에 관한 수치적 연구A computational study on plasma generation and film deposition in a large-area planar magnetron sputtering system
- Advisors
- 이원종researcher; Lee, Won-Jongresearcher
- Description
- 한국과학기술원 : 신소재공학과,
- Publisher
- 한국과학기술원
- Issue Date
- 2004
- Identifier
- 237583/325007 / 020005019
- Language
- kor
- Description
학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 신소재공학과, 2004.2, [ v, 142 p. ]
- Keywords
증착; 플라즈마; 마그네트론; 스퍼터링; 전산모사; SIMULATION; DEPOSITION; PLASMA; MAGNETRON; SPUTTERING
- Appears in Collection
- MS-Theses_Ph.D.(박사논문)
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