일자형 원격플라즈마장치의 개발 = Development of straight type remote plasma generator

원격플라즈마장치는 산업계에서 널리 사용되어왔는데, 특히 웨이퍼나 공정챔버를 세정하는 목적으로 사용되어왔다. 페라이트 코어를 사용한 변압기 결합 플라즈마를 소스로 사용하여, 원격플라즈마장치는 플루오르 원자를 포함한 기체를 분해할 수 있다. 매우 반응성이 좋은 중성 플루오르 원자들은 공정챔버로 이동하여, 더 높은 수득률과 품질을 얻도록 하는 데에 방해가 되는 원치않는 챔버 내의 불순물을 제거하게 된다. 기존의 토로이드 형태의 원격플라즈마장치는 그 이전의 세정방힉에 비해서는 장점을 지니지만 빈번한 이그니션 실패나 시간에 따른 성능 저하와 같은 문제점을 가지고 있었다. 이러한 문제점을 개선한 새로운 원격플라즈마를 개발하는 과정의 일환으로서, 본 논문에서는 기존의 토로이덜 형태와는 다른 새롭게 디자인된 일자형의 원격플라즈마장치가 제시되었고, 기존의 형태와 비교를 수행하였다. 이 새로운 형태의 리액터는 간단한 디자인과 디마그네타이제이션 효과를 줄일 수 있다는 데에서 강점을 지닌다. 실험적으로 두가지 다른 형태의 리액터의 성능을 비교하기 위해 전압-전류 프로브를 사용하여 플라즈마 지속조건을 조사하였다. 그 결과, 새로운 리액터가 기존 형태의 리액터에 비해 더 넓은 플라즈마지속 범위를 가졌음을 확인하였다. 이 결과는 더 효율적인 원격플라즈마장치의 개발가능성을 제시해줄 수 있다.
Advisors
장홍영researcherChang, Hong-Youngresearcher
Publisher
한국과학기술원
Issue Date
2009
Identifier
308623/325007  / 020073328
Language
kor
Description

학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 물리학과, 2009.2, [ vi, 50 p. ]

Keywords

RPG; remote plasma generator; ferrite; transformer coupled plasma; plasma sustenance condition; 원격플라즈마장치; 페라이트; 변압기 결합형 플라즈마; 플라즈마 지속조건

URI
http://hdl.handle.net/10203/48734
Link
http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=308623&flag=t
Appears in Collection
PH-Theses_Master(석사논문)
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