학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 물리학과, 2009. 2, [ v, 115 p. ]
magnetron sputtering; pulsed-DC; ion bombardment energy; deposition rate; two step pulse; 마그네트론 스퍼터링; 직류 펄스; 이온 충돌 에너지; 증착율; 이단 펄스
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