V-그루브 미세 가공에서의 공구 및 공작물 셋업에 관한 연구 = A study on tool and workpiece setup in v-groove micromachining

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기존의 일반 가공 공정에서는 가공기에 의한 오차, 공정 중에 발생하는 오차, 셋업 오차 그리고 기타 오차와 같이 많은 오차들이 발생하는데, 그 중 셋업 오차는 다른 오차들에 비해 상대적으로 그 비중이 크지 않아 거의 무시되어 왔다. 하지만 LCD 제품의 고품질, 대화면화가 요구됨에 따라 기존의 일반 가공 공정에서는 크게 중요시 되지 않았던 셋업 오차가 v-그루브 미세 형상 가공에서는 제품의 품질에 큰 영향을 미치는 요소로서 그 중요성이 점차 커지게 되었다. 본 연구에서는 v-그루브 미세 가공에서의 셋업 오차를 규명하고, 셋업 오차들을 해석하여 이를 하나의 복합적인 모델링으로 나타내어 셋업 오차가 미세 형상에 미치는 영향을 분석하였다. 또한 정밀도 개선과 관련해서는 각각의 셋업 오차에 의한 미세 형상의 기하학적인 변화를 해석하여 원하는 형상 정밀도를 만족하는 공구 및 공작물의 셋업 조건을 제시하였다. 오차 측정 시스템에 관해서는 미세 가공이라는 특성을 고려하여 다음과 같은 오차 측정 시스템을 구축하였다. 공구 셋업 오차는 정확한 오차 검출을 위해 히스토그램 균등화와 에지 검출과 같은 영상 처리 기법과 선형 회귀 분석 방법을 적용시킨 머신 비전 시스템을 사용하여 측정하였고, 공작물 셋업 오차는 수십 나노의 정밀도를 가지는 레이저 변위 센서와 갭 센서를 이용하여 측정하였다.
Advisors
양민양researcherYang, Min-Yangresearcher
Description
한국과학기술원 : 기계공학전공,
Publisher
한국과학기술원
Issue Date
2006
Identifier
255282/325007  / 020043586
Language
kor
Description

학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2006.2, [ ix, 65 p. ]

Keywords

공작물 셋업 오차; 머신 비전 시스템; V-groove micromachining; tool setup error; v-그루브 미세 가공; machine vision system; 공구 셋업 오차; workpiece setup error

URI
http://hdl.handle.net/10203/46122
Link
http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=255282&flag=dissertation
Appears in Collection
ME-Theses_Master(석사논문)
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