고상 접합용 종방향 초음파 혼의 설계Design of longitudinal ultrasonic horn for solid-state-bonding
이 논문에서는 95%의 진폭균일도를 만족하는 스풀 혼과 바 혼의 최적 조건을 제시하였다. MINITAB을 이용한 실험계획법을 이용해 최적 조건을 찾았고, 축방향 진동모드와 공진주파수를 찾기 위해 ANSYS를 이용하여 모드해석과 하모닉해석을 수행하였다. 설계된 바 혼과 스풀 혼의 진폭균일도는 95% 를 만족하였고, LDV로 바 혼의 진폭을 측정하여 설계의 타당성을 검증하였다. 1 슬롯 바 혼을 전자패키징에 적용하기 위해 Sn-Sn 범프와 Cu-Sn범프를 교차시켜 고상 접합 실험을 수행하였다.
- Advisors
- 유중돈researcher; Yoo, Choong-Donresearcher
- Description
- 한국과학기술원 : 기계공학전공,
- Publisher
- 한국과학기술원
- Issue Date
- 2009
- Identifier
- 308502/325007 / 020073077
- Language
- kor
- Description
학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2009.2, [ viii, 76 p. ]
- Keywords
Longitudinal ultrasonic horn; solid-state-bonding; bar horn; spool horn; 종방향 초음파 혼; 고상 접합; 바 혼; 스풀 혼; Longitudinal ultrasonic horn; solid-state-bonding; bar horn; spool horn; 종방향 초음파 혼; 고상 접합; 바 혼; 스풀 혼
- Appears in Collection
- ME-Theses_Master(석사논문)
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