학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2007. 8, [ xiv, 166 p. ]
alignment; ultraprecision; positioner; piezomotor; flexure; parallel manupulator; 정렬; 초정밀; 위치결정기구; 피에조모터; 유연기구; 병렬 기구; alignment; ultraprecision; positioner; piezomotor; flexure; parallel manupulator; 정렬; 초정밀; 위치결정기구; 피에조모터; 유연기구; 병렬 기구
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