학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2007.2, [ xi, 100 p. ]
미러 직각도 오차; AFM (Atomic Force Microscope); nano flexure hinge stage; optimal design; nano metrology; self calibration; systematic error; Abbe error minimization; Uncertainty evaluation; Mirror orthogonality error; 불확도 평가; 아베 오차 최소화; 계통 오차; 자가 보정; 나노 메트롤로지; 최적 설계; 원자현미경; 나노 플렉셔 힌지 스테이지
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