표준 길이 측정 원자현미경 용 나노 정밀도 스캐너의 설계 및 자가 보정을 통한 계통오차 보정 = The design of nano scanner and the calibration of systematic error using self-calibration for standard length measuring AFM(Atomic Force Microscope)

Advisors
권대갑researcherGweon, Dae-Gabresearcher
Publisher
한국과학기술원
Issue Date
2007
Identifier
263386/325007  / 020025042
Language
kor
Description

학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2007.2, [ xi, 100 p. ]

Keywords

미러 직각도 오차; AFM (Atomic Force Microscope); nano flexure hinge stage; optimal design; nano metrology; self calibration; systematic error; Abbe error minimization; Uncertainty evaluation; Mirror orthogonality error; 불확도 평가; 아베 오차 최소화; 계통 오차; 자가 보정; 나노 메트롤로지; 최적 설계; 원자현미경; 나노 플렉셔 힌지 스테이지

URI
http://hdl.handle.net/10203/43634
Link
http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=263386&flag=t
Appears in Collection
ME-Theses_Ph.D.(박사논문)
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